詳細摘要: (激光/電子束) 輔助化學束外延系統MOMBE/GSMBE
產品型號:所在地:上海更新時間:2022-06-02 在線留言上海續波光電技術有限公司
詳細摘要: 多元素大面積薄膜沉積化學束外延技術中最重要的是識別合適的化學前驅體,因為化學束外延工藝條件與其他采用化學前驅體的典型技術(例如CVD,ALD)不同
產品型號:所在地:上海更新時間:2022-06-02 在線留言詳細摘要: 化學束外延起源于上個世紀80年代,它結合了分子束外延(MBE)和化學氣相沉積(CVD)技術的優點,適用于生長III-V族半導體薄膜,也可以用于Si,SixGe1...
產品型號:所在地:上海更新時間:2022-06-02 在線留言詳細摘要: 氣源分子束外延GSMBE、高真空化學氣相沉積HVCVD金屬有機物分子束外延MOMBE、激光輔助沉積、化學束外延融合了MBE和CVD優點
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主營產品:磁控濺射儀,電子束蒸發鍍膜儀,離子減薄儀,微波等離子化學氣相沉積系統(MPCVD),化學束外延系統,電磁場場分布測試儀,等離子處理,刻蝕機,光學軟件與材料(金剛石),HFCVD,BSDF/BRED測量儀,電磁場仿真軟件
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